微区X射线荧光光谱仪是对不均匀样品、不规则样品、甚至小件样品和包裹物进行高灵敏度的、非破坏性的元素分析方法。采用多导毛细管聚焦镜将激发光聚焦到非常小的区域，以获得较佳的空间分辨率，进行快速分析。任何类型的样品都可以通过简单的样品制备甚至不制备直接进行分析。
微区X射线荧光光谱仪的基本原理：
工作原理是X射线光管发出的初级X射线照射样品，样品中原子的内层电子被激发，当外层电子跃迁时产生特征X射线，通过分析样品中不同元素产生的特征荧光X射线波长（或能量）和强度，可以获得样品中的元素组成与含量信息，达到定性定量分析的目的。
X射线是一种波长较短的电磁辐射，通常是指能量范围在0.1~100keV的光子。X射线与物质的相互作用主要有荧光、吸收和散射三种。
微区X射线荧光光谱仪的性能特点：
特殊光路系统
采用特殊的光路系统，可满足不同基体中痕量元素的测量，提高信噪比，降低检出限。
400W大功率X光源
400W大功率光源使难以激发的痕量元素获得更高的计数率，比普通EDXRF仪器的元素检出限降低一个数量级，更加适合痕量元素的检测。
数字多道技术
采用数字多道技术，仪器可探测的计数率可高至100kcps,提高了仪器的测量精度,缩短了测量时间。
油冷散热系统
油冷散热系统，保证了大功率X光源的散热，使仪器的运行更加稳定。
光闸系统
光闸系统，保证X光源的稳定性，同时提升X光管使用寿命。
抽真空系统
抽真空系统，可以满足轻元素的测量。
自动进样系统
自动进样系统，可以一次连续检测十二个样品，大大提高了测试人员的工作效率。
